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CGO-4高低溫真空探針台測試係統

更新時間:2020-07-09

簡要描述:

CGO-4高低溫真空探針台測試係統
77K-675K(液氮);

超高溫度分辨率;

低溫具有極高穩定性

CGO-4高低溫真空探針台測試係統 

77K-675K(液氮);

超高溫度分辨率;

低溫具有極高穩定性

特點/應用

2至6英寸樣品台

高真空腔體

防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好

77K-675K高低溫環境

兼容IV/CV/RF測試

外置多探針臂,移動行程大

經濟實用,可無縫升級

CGO-4高低溫真空探針台測試係統 

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,並且保持整個測試過程泵的運轉。

高溫無氧化測試:

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,並且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,並且保持整個測試過程泵的運轉。

    晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位於腔體外部。向日葵app下载安装色也可以選擇使用操作杆控製的自動化針座來調整探針的位置。

 

腔體規格:

型號

CGO-2/CGO-4/CGO-6

樣品台尺寸

2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定

彈簧壓片

觀察窗口

2英寸/4英寸/6英寸

真空度

10-6torr

探針臂接口

4~6個探針臂接口

其他接口

電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

製冷方式

液氮/液氦/製冷機

溫度範圍

77K到573K/4.5K到573K

溫控精度

0.1K/0.01K/0.001K

穩定性

±1K/±0.1K/±0.01K

外形

880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量

約100千克/120千克

 

 

◆ 光學係統:

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動行程

水平360度旋轉,Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

 

 

◆ 探針臂:

X-Y-Z移動行程

50mm*50mm*50mm

結構

外置探針臂,真空波紋管結構

移動精度

10微米/1微米

線纜

同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持

DC-67GHZ

針尖直徑

0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

 


 

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