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安科瑞泰SENresearch 4.0光譜橢偏儀

更新時間:2020-12-28

簡要描述:

安科瑞泰SENresearch 4.0光譜橢偏儀
SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜範圍,從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。

安科瑞泰SENresearch 4.0光譜橢偏儀

寬光譜範圍和高光譜精度

SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜範圍,從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達200μm的厚膜。

沒有光學器件運動(步進掃描分析器原理)

為了獲得測量結果,在數據采集過程中沒有光學器件運動。步進掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個獨特特性。

雙補償器2C全穆勒矩陣測量

通過創新的雙補償器2C設計擴展了步進掃描分析器SSA原理,允許測量全穆勒矩陣。該設計是可現場升級和實現成本效益的附件。

安科瑞泰SENresearch 4.0光譜橢偏儀

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用於先進材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用於與引導圖形用戶界麵進行研究的交互模式和用於常規應用的配方模式。

 

SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一台SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據客戶具體配置的光譜範圍、選項和現場可升級附件而製造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜範圍,具有的信噪比,可選擇的光譜分辨率。可測量矽薄膜厚度高達200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比,也可選擇高達1700納米。

新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度範圍。光學編碼器確保精度和角度設置的長期穩定性。光譜橢偏儀手臂可以獨立移動,用於散射測量和角度分辨透射測量。

SENresearch 4.0 根據步進掃描分析器(SSA)原理進行操作。SSA將強度測量與機械運動分離,從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學部件在數據采集期間都處於靜止狀態。此外,SENresearch 4.0 包括用於自動掃描和同步應用的快速測量模式。

定製的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用於標準應用。例如介電層堆疊、紋理表麵、光學和結構(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應用提供了預定義的配方。

 

 

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