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安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀

更新時間:2020-12-28

簡要描述:

安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜範圍為370到1050 nm。SENpro的光譜範圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合,可以輕易地確定單層膜和複合層疊膜的厚度和折射率。

安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀

成本效益

SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀,同時不影響先進測量性能。

可變入射角

光譜橢偏儀SENpro包括可變入射角的角度計,40°—90°,步進值5°,用於優化橢偏測量。

步進掃描分析器

SENpro具有獨特的步進掃描分析器。在數據采集過程中,偏振器和補償器固定,以提供高的橢偏測量精度。

 

安科瑞泰SENpro光譜橢偏儀

光譜橢偏儀SENpro具有操作簡單,測量速度快,能對不同入射角的橢偏測量數據進行組合分析等特點。光譜範圍為370到1050 nm。SENpro的光譜範圍與精密的SpectraRay/4軟件相結合,可以輕易地確定單層膜和複合層疊膜的厚度和折射率。

具有成本效益的桌麵式SENpro包括可見光到近紅外橢偏儀光學,5°步進角度計,樣品台、激光準直器、光纖耦合穩定光源和探測器單元。SENpro配備了用於係統控製和數據分析的光譜橢偏儀軟件SpectraRay/4 ,用於包括建模,擬合和報告輸出。即使對於初學者,該程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持計算機控製的用於均勻性測量的自動掃描。

SENpro專注於薄膜測量的速度和精度,不管是何種薄膜應用。測量範圍從1 nm的薄層膜到15 μm的厚層膜。

對於各種各樣的應用,SpectraRay/4都提供了預定義的配方。

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