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SENTECH台式薄膜探針反射儀FTPadv

更新時間:2020-12-30

簡要描述:

SENTECH台式薄膜探針反射儀FTPadv通過選擇合適的配方,FTPadv反射儀以小於100ms的測量速度、精度小於0.3nm、厚度範圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量。

SENTECH台式薄膜探針反射儀FTPadv

 簡易的膜厚測量

通過選擇合適的配方,FTPadv反射儀以小於100ms的測量速度、精度小於0.3nm、厚度範圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量。

獨特的自動建模

通過測量反射光譜和光譜數據庫的比較,將測量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎的材料數據庫

基於SENTECH的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學常數提供了配方。

 

SENTECH台式薄膜探針反射儀FTPadv

應用

二十年來,SENTECH已經成功地銷售了用於各種應用的薄膜厚度探針FTPadv。這種台式反射儀的特點是不管在低溫或高溫下,在工業或研發環境中,都能通過遠程或直接控製,對小樣品或大樣品進行實時或在線厚度測量。

 

台式反射儀FTPadv、可重複地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結合在顯微鏡上,或者配備有穩定的光源,用於測量厚度達到25 µm (根據要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經驗中受益的預定義的、經由客戶驗證的、以及隨時可以使用的應用程序的廣泛數據庫。

FTPadv的特征在於對來自疊層樣品的任何膜層的厚度進行測量,使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案。用於工藝控製的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素燈的穩定光源以及FTP光學控製站。局域網連接到PC允許了遠程控製的FTPadv在工業應用,如惡劣環境,特殊保護空間或大型機械。

反射儀FTPadv帶有大量預定義的配方,例如半導體上的介質膜、半導體膜、矽上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。獨特的自動建性允許通過與光譜庫的快速比較來檢測樣本類型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學反射法測量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅動的操作軟件允許單層和疊層結構的厚度測量,具有極好的操作指導。此外,它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動掃描軟件可用於控製電動樣品台。將軟件升級到用於反射測量的高級分析的軟件包FTPadv EXPERT,即可應用於具有未知或不恒定光學特性的材料。因此,單層薄膜厚度測量以及折射率和消光係數分析是可實現的。

 

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